Park NX15不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。

便捷的样品测量（包含多样品扫描）

 一次可对多个样品自动成像

 设计的多样本卡盘，一次至多可装载9个单独样品（可选）

 全电动XY样品台行程可达 150 mm x 150 mm

通过消除扫描器串扰进行精准的XY扫描

 独立闭环XY和Z柔性扫描器

 正交XY扫描

 无需软件处理即可保留真实可信的样品表面形貌信息

真正非接触模式实现探针使用寿命、成像分辨率和样品的有效保护

 快速的Z伺服速度，实现真正的非接触模式

 针尖磨损微小化，可实现长时间的高质量和高分辨率成像

多种模式和选项

 全面性的测量模式和表征方法

 可实现可选配件和升级扩展功能

 用于故障分析(FA)的精密电学测量

Park NX15 参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

Z扫描范围：15μm(30 μm可选)

XY扫描器

闭环控制式单模块柔性XY扫描器

扫描范围：100μmx 100μm

光学

带视觉相机的同轴光学系统

物镜：10x放大

视场：

480 μm X 360 μm(默认 120 万像素视觉相机)

840 μm X 630 μm( 默认 500 万像素视觉相机)

电路系统

信号处理

ADC: 用于 X,Y和Z 扫描器位置传感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 扫描器定位的 20 位 DAC

样品台

Z位移台行程范围：25.5 mm

XY位移台行程范围：150 mm X 150mm

样品大小：可满足150 mm wafer 样品