用于故障分析与敏感材料研究的高真空原子力显微镜

Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。

Park NX-Hivac使得真空环境中高精准度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。

在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精准的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自动控制

Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上精细控制真空条件，在抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更有效。

Park NX-Hivac 技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选50 µm × 50 µm)

驱动台

Z位移台行程范围 : 24 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 11 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

样品架

样品大小: 尺寸上限为 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可达 20 mm
样品重量 : < 500 g

光学

10倍长工作距离镜头
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 5 M pixel

物理信息

内真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

真空等级: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用涡轮和干式泵在约5分钟内达到 10-5 torr

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

真空管理器

自动真空控制软件

电子

集成功能
4通道灵活的数字锁相放大器
弹簧常数校准（热法，可选）
数字Q控制

外部信号接入
20个嵌入式信号输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF、EOL、EOP、调制和交流偏置